Keramische Vakuumdurchführungen.

QSIL Ceramics fertigt nach Kundenanforderungen keramische Vakuum-Durchführungen.

Geringste Ausgasungs- und Leckraten, Hochspannungsfestigkeit ≥30 kV/mm, bestmögliche thermische Isolation und thermische Beständigkeit garantieren höchste Zuverlässigkeit der Bauteile. Die Keramik Metalldurchführungen sind auf ihre Vakuumdichtigkeit geprüft. Die He Leckrate beträgt ≤10^-9 mbar·l/s.

Vorteile auf einen Blick

• kundenspezifische, zeichnungsgebundene Bauteile
• Einfach- und Mehrfachdurchführungen nach Kundenwunsch
• enge Maßtoleranzen
• mit dissipativer hochohmiger Beschichtung möglich
• Vakuumdichtigkeit ≤10^-9 mbar l/s
• Keramikoberfläche außen glasiert möglich
• Mit angeschweißten standardisierten Metallflanschen möglich

Einsatzgebiete

• Analysegeräte
• Röntgengeräte
• Halbleiterindustrie
• Excimerlaser

Dieses Produkt ist in folgenden Materialien verfügbar

• Aluminiumoxid AK 97 M
• Aluminiumoxid AK 97
• Aluminiumoxid AK 99.5

Jeweils mit Metallkomponenten aus FeNi29Co18-Legierung, in Abhängigkeit von Geometrie und Abmessung auch T, Cu-OF, FeNi42 oder Ni möglich.